芯东西（公众号：aichip001）
作者 | ZeR0
编辑 | 漠影
芯东西5月19日(ri)报道，今日(ri)，深圳高(gao)端(duan)半导体质量控制设备公司中科飞测成功登(deng)陆科创(chuang)板(ban)。
中科飞测的发行价(jia)为23.60元(yuan)(yuan)/股(gu)(gu)，发行市盈率为14.83倍。今(jin)日上市后，其股(gu)(gu)价(jia)开盘上涨179.66%至(zhi)(zhi)66.00元(yuan)(yuan)/股(gu)(gu)，最高(gao)上涨203.64%至(zhi)(zhi)71.66元(yuan)(yuan)/股(gu)(gu)。截至(zhi)(zhi)10点05分，其股(gu)(gu)价(jia)为66.06元(yuan)(yuan)/股(gu)(gu)，涨幅为179.92%，市值逾210亿元(yuan)(yuan)。
其有限公司成立于2014年12月，股份公司成立于2020年12月。中科飞测始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。其产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的(de)集成(cheng)电路制造产线(xian)。
该公司主要根据销售订单及销售预测进行生产，并主要通过直销模式进行产品和服务销售，主要产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。
苏州翌流明是中科飞测的控股股东，中科院微电子所、华为哈勃投资均(jun)在其股东之列。中科(ke)飞(fei)测的实际控制人(ren)CHEN LU（陈鲁）、哈承姝为夫妻关系。包括CHEN LU（陈鲁）在内的3名(ming)中科(ke)飞(fei)测核心技(ji)术人(ren)员都曾在中科(ke)院微电子所任(ren)职。
本次IPO，中科飞测拟(ni)募资10亿(yi)元，投入高端半导体质(zhi)量控(kong)制设备产业化(hua)项目、研发中心升级建设项目、补(bu)充流动(dong)资金。
一、检测&量测：保证芯片生产良品率非常关键
质(zhi)量(liang)控制(zhi)设(she)(she)备(bei)是芯片制(zhi)造的(de)核心设(she)(she)备(bei)之一。质(zhi)量(liang)控制(zhi)贯穿集成电路制(zhi)造全过程(cheng)，是保(bao)证芯片生产良品率(lv)非(fei)常关键的(de)环节(jie)。
集成(cheng)电(dian)路质(zhi)量(liang)控(kong)制包(bao)括前(qian)道(dao)检测(ce)(ce)、中(zhong)道(dao)检测(ce)(ce)和(he)后道(dao)测(ce)(ce)试，国内多家公司(si)涉及(ji)后道(dao)测(ce)(ce)试，涉及(ji)前(qian)道(dao)检测(ce)(ce)和(he)中(zhong)道(dao)检测(ce)(ce)的相对较少。中(zhong)科飞测(ce)(ce)主要向(xiang)集成(cheng)电(dian)路前(qian)道(dao)制程(cheng)、先进封装等企业以(yi)及(ji)相关设备、材(cai)料厂商提供关键质(zhi)量(liang)控(kong)制设备。
其检测(ce)和量测(ce)设(she)备能(neng)够对上述企业的生产过程(cheng)进行全(quan)面(mian)质量控制(zhi)和工(gong)艺检测(ce)，助推客户提升工(gong)艺技术、提高良品率(lv)、实现降本增(zeng)效的目标。
▲中科飞测主要产品演变(bian)和技术发展的情况
目前，我国半导(dao)体(ti)检测与量测设备市场(chang)(chang)中国产化率较(jiao)(jiao)低，科磊(lei)半导(dao)体(ti)、应用(yong)材料、日立作为中国市场(chang)(chang)前三大企业(ye)，合计市场(chang)(chang)份额占比(bi)超过70%。中科飞测及国内主要竞争对手(shou)占国内市场(chang)(chang)的份额整体(ti)较(jiao)(jiao)小(xiao)，但(dan)呈现快速增(zeng)长趋(qu)势。
▲2016-2020年全球和中国大陆半(ban)导(dao)体(ti)（检测和量测）设备市场情况(kuang)
2016年至2020年，全(quan)球(qiu)和(he)中国大陆地(di)区半(ban)导体设(she)备和(he)检测与量测设(she)备市场(chang)(chang)处(chu)于快速发展期(qi)，中国大陆地(di)区半(ban)导体设(she)备市场(chang)(chang)和(he)检测与量测市场(chang)(chang)增(zeng)长(zhang)(zhang)显(xian)著高于全(quan)球(qiu)市场(chang)(chang)增(zeng)长(zhang)(zhang)。
中(zhong)(zhong)科(ke)飞(fei)测(ce)(ce)国内(nei)(nei)竞争对(dui)手主要为上海睿励和(he)上海精测(ce)(ce)。鉴于目前无(wu)公开统计国内(nei)(nei)企(qi)业的(de)市场占(zhan)有率情况，故(gu)无(wu)法直接获取中(zhong)(zhong)科(ke)飞(fei)测(ce)(ce)及相关竞争对(dui)手市场占(zhan)有率情况。下文以(yi)销售收(shou)入(ru)占(zhan)市场规模(mo)比例的(de)方(fang)式对(dui)国内(nei)(nei)企(qi)业市场占(zhan)有率进(jin)行模(mo)拟测(ce)(ce)算，中(zhong)(zhong)科(ke)飞(fei)测(ce)(ce)市场占(zhan)有率增长较(jiao)快(kuai)，由2018年的(de)0.35%增长至2020年的(de)1.74%，在中(zhong)(zhong)国大陆半(ban)导体检测(ce)(ce)和(he)量测(ce)(ce)设(she)备市场具有相对(dui)竞争优势。
二、三年半收入7.76亿元
2019年(nian)、2020年(nian)、2021年(nian)、2022年(nian)1~6月，中(zhong)科飞(fei)测营收分别(bie)为0.56亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、2.38亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、3.61亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、1.21亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)；净利润分别(bie)为-0.97亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、0.40亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、0.53亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)、-0.32亿(yi)元(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)。
▲2019年(nian)至2022年(nian)上(shang)半年(nian)中(zhong)科飞测营收、净利润(run)、研发(fa)费用变化（单位：亿元，芯东西制表）
同(tong)期研发投(tou)入占营收(shou)的(de)比例分别(bie)为100.01%、19.43%、26.36%、72.28%。
▲2019年至2022年上(shang)半年中科(ke)飞(fei)测主营业务收(shou)入分布变化（芯东西制表(biao)）
分设(she)备(bei)(bei)类型来看(kan)，检测(ce)设(she)备(bei)(bei)的收入(ru)(ru)占比逐(zhu)年上升，量测(ce)设(she)备(bei)(bei)的收入(ru)(ru)占比从近四(si)成降(jiang)至两(liang)成。检测(ce)设(she)备(bei)(bei)的毛利率高于量测(ce)设(she)备(bei)(bei)。
其各产(chan)品的产(chan)量和销(xiao)量情况如下：
报告(gao)期(qi)内，中科飞测与可比公司(si)的综合毛利(li)率(lv)对比情况如(ru)下：
2019年(nian)(nian)，中(zhong)科飞(fei)测销售的设备以(yi)基础(chu)型号(hao)为主，且尚处于发(fa)展初期(qi)、经营规模(mo)较小，毛(mao)利率整体低于同(tong)行业(ye)平均(jun)水平。随着(zhe)其升(sheng)级型号(hao)设备的不断推出、经营规模(mo)逐步扩(kuo)大，2020年(nian)(nian)度其毛(mao)利率达到同(tong)行业(ye)平均(jun)水平，2021年(nian)(nian)度及2022年(nian)(nian)1~6月毛(mao)利率较高(gao)的检测设备为主，毛(mao)利率继(ji)续上升(sheng)。
报(bao)告期内，同行业可比(bi)公司（剔除(chu)华(hua)峰测(ce)控后）综合(he)毛(mao)利率(lv)平均值总体呈现上升趋(qu)势，中科飞测(ce)综合(he)毛(mao)利率(lv)变(bian)动趋(qu)势与可比(bi)公司基本一致(zhi)。报(bao)告期各(ge)期末，其存(cun)货(huo)账面价(jia)值分别为0.79亿(yi)元、1.79亿(yi)元、5.39亿(yi)元、8.29亿(yi)元，存(cun)货(huo)规模较大(da)。
三、对应1Xnm产线的设备正在研发，对应2Xnm以下产线的设备正在验证
截至(zhi)2022年6月30日，中(zhong)科飞(fei)测共有676名员(yuan)工，其中(zhong)研发(fa)人(ren)员(yuan)共298人(ren)，占比为44.08%。
该公司承(cheng)担了多项国(guo)家(jia)级(ji)、省级(ji)和市(shi)级(ji)科研项目，并获(huo)得一定规模的政府(fu)(fu)补助(zhu)，各期政府(fu)(fu)补助(zhu)确认的其(qi)他(ta)收益金额分别为0.23亿元、0.38亿元、0.48亿元、0.41亿元。
技术(shu)水平方(fang)面，根据(ju)国内竞(jing)争对手公司(si)官网及公开(kai)披(pi)露信息(xi)，上海(hai)睿(rui)励自主研发的12英寸(cun)光(guang)学测(ce)量(liang)设备(bei)TFX3000系列产(chan)品，正在14nm芯片生产(chan)线进行验(yan)证(zheng)，尚未披(pi)露设备(bei)完(wan)(wan)成验(yan)收信息(xi)；上海(hai)精测(ce)推出的首款半导体电(dian)子束检测(ce)设备(bei)正在进行 1Xnm验(yan)证(zheng)，尚未披(pi)露设备(bei)完(wan)(wan)成验(yan)收信息(xi)。
中科飞测已有多(duo)台设备(bei)在(zai)(zai)28nm产线(xian)通过验收，另有对(dui)应1Xnm产线(xian)的(de)(de)SPRUCE-900型号设备(bei)正在(zai)(zai)研(yan)发中，对(dui)应2Xnm以下产线(xian)的(de)(de)DRAGONBLOOD-600型号设备(bei)正在(zai)(zai)产线(xian)进行(xing)验证，并(bing)已取得(de)两家(jia)客(ke)户的(de)(de)订单。
综(zong)上，中科(ke)飞测业务规模高于(yu)(yu)其他国内竞争对手(shou)，技(ji)术(shu)研发均向2Xnm以下节(jie)点推进，处于(yu)(yu)国内领先地位。
其部(bu)分员工曾于中(zhong)科(ke)(ke)(ke)院(yuan)微电子所(suo)与(yu)中(zhong)科(ke)(ke)(ke)飞(fei)测(ce)处双边任职。报(bao)(bao)告(gao)期(qi)内，中(zhong)科(ke)(ke)(ke)飞(fei)测(ce)存在与(yu)中(zhong)科(ke)(ke)(ke)院(yuan)微电子所(suo)合作研发、与(yu)中(zhong)科(ke)(ke)(ke)院(yuan)微电子所(suo)等其他单位分别(bie)共同(tong)申报(bao)(bao)科(ke)(ke)(ke)研课题项目的情(qing)况。
四、产品落地中芯国际、士兰集科、长电科技、华天科技、长江存储、蓝思科技
半(ban)导体检测与量测设备(bei)市(shi)场部分客(ke)户存在招投标(biao)的(de)(de)情况，相关(guan)招投标(biao)结果在一定程度上(shang)可以反(fan)映公(gong)司的(de)(de)领先优势和市(shi)场占有率情况。
根据(ju)光(guang)大证(zheng)券发布(bu)的研究(jiu)报告《国内(nei)(nei)半导体(ti)(ti)设(she)备招投(tou)标(biao)月(yue)度(du)数据(ju)跟踪第7期(qi)（2022年(nian)01月(yue)）》及公开(kai)招投(tou)标(biao)信(xin)息整理，2021年(nian)度(du)国内(nei)(nei)主(zhu)流厂商(shang)公开(kai)招标(biao)前(qian)道检(jian)测(ce)及量(liang)测(ce)设(she)备185台(tai)，其(qi)中(zhong)中(zhong)科飞测(ce)中(zhong)标(biao)设(she)备14台(tai)，其(qi)国内(nei)(nei)主(zhu)要竞(jing)争对(dui)手中(zhong)标(biao)设(she)备1台(tai)，中(zhong)科飞测(ce)处于国内(nei)(nei)同行业(ye)企业(ye)领(ling)先(xian)地位(wei)，具体(ti)(ti)情况(kuang)如下表所示：
中科(ke)飞(fei)测的客(ke)户(hu)主要为(wei)集(ji)成电路前道(dao)制程、先进封装等领域知名企业。其检测设备的主要代表客(ke)户(hu)有中芯国际、士兰集(ji)科(ke)、长(zhang)电科(ke)技(ji)(ji)、华(hua)天科(ke)技(ji)(ji)，量测设备的主要代表客(ke)户(hu)有长(zhang)江存储、长(zhang)电科(ke)技(ji)(ji)、华(hua)天科(ke)技(ji)(ji)、蓝(lan)思科(ke)技(ji)(ji)。
报告期内，中芯国际(ji)一(yi)直是中科飞测的(de)前(qian)五大客(ke)(ke)户(hu)之一(yi)，中科飞测向前(qian)五大客(ke)(ke)户(hu)合计(ji)销售金额占(zhan)当期销售总额的(de)比(bi)例分别为72.72%、51.21%、44.32%、65.06%，不存在向单个客(ke)(ke)户(hu)的(de)销售比(bi)例超过公司当年销售总额的(de)50%或严重依赖于少数客(ke)(ke)户(hu)的(de)情(qing)形。
2022年1-6月(yue)，中(zhong)科(ke)飞(fei)测前(qian)五大(da)(da)客(ke)户中(zhong)华海清科(ke)为公司董(dong)事(shi)(shi)刘臻担(dan)任监事(shi)(shi)的企业，非中(zhong)科(ke)飞(fei)测关(guan)联方。除此之(zhi)外(wai)，中(zhong)科(ke)飞(fei)测、中(zhong)科(ke)飞(fei)测董(dong)事(shi)(shi)、监事(shi)(shi)、高级管理(li)人员或持有中(zhong)科(ke)飞(fei)测5%以(yi)上(shang)股份的股东与前(qian)五大(da)(da)客(ke)户之(zhi)间(jian)不(bu)存在关(guan)联关(guan)系。
报告期(qi)内，中科(ke)飞测向前五大供应(ying)商(shang)合计采购金额占当期(qi)采购总额的(de)(de)比(bi)例分别为35.69%、41.07%、37.08%、38.26%，不存在向单个(ge)供应(ying)商(shang)的(de)(de)采购比(bi)例超过公司当年(nian)采购总额50%或严重(zhong)依赖于少数(shu)供应(ying)商(shang)的(de)(de)情形(xing)。
中科飞测、中科飞测董事、监事、高级(ji)管理人员或持有中科飞测5%以上股份的股东(dong)与(yu)报告(gao)期内的前五大供应商之(zhi)间不存在关(guan)联(lian)关(guan)系(xi)。
中科飞测所需(xu)原材料主(zhu)要为(wei)运动与控(kong)制系(xi)统类、光学类等零(ling)(ling)部(bu)件，已(yi)与乐孜公司、华卓精科等行业(ye)内知(zhi)名企业(ye)建立了(le)稳定的(de)(de)(de)供(gong)应合作关系(xi)。其核心零(ling)(ling)部(bu)件的(de)(de)(de)供(gong)应商主(zhu)要为(wei)有产品优(you)势(shi)的(de)(de)(de)知(zhi)名企业(ye)，其中EFEM和机械手主(zhu)要来源于境外采购。
中科飞测(ce)相关核心零部件不存在单一依(yi)赖(lai)。报(bao)告期内，其采购材(cai)料(liao)金(jin)(jin)额分(fen)别为(wei)0.70亿(yi)元(yuan)(yuan)、2.17亿(yi)元(yuan)(yuan)、5.18亿(yi)元(yuan)(yuan)、3.42亿(yi)元(yuan)(yuan)，采购规模总体呈现增长(zhang)的(de)态势；其中采购EFEM和机(ji)械手的(de)金(jin)(jin)额分(fen)别为(wei)0.17亿(yi)元(yuan)(yuan)、0.42亿(yi)元(yuan)(yuan)、0.88亿(yi)元(yuan)(yuan)、0.63亿(yi)元(yuan)(yuan)，占采购总额的(de)比例分(fen)别为(wei)23.76%、19.40%、17.09%、18.29%。
五、苏州翌流明为控股股东，中科院微电子所、华为哈勃参投
截至(zhi)招股(gu)(gu)书签署日，苏州(zhou)翌流明直接(jie)(jie)持有中科(ke)飞测(ce)(ce)(ce)15.75%的股(gu)(gu)份(fen)，通过小(xiao)纳光(guang)间接(jie)(jie)控(kong)制中科(ke)飞测(ce)(ce)(ce)7.86%的股(gu)(gu)份(fen)，合(he)计(ji)控(kong)制中科(ke)飞测(ce)(ce)(ce)股(gu)(gu)份(fen)总(zong)数的23.61%，为(wei)中科(ke)飞测(ce)(ce)(ce)控(kong)股(gu)(gu)股(gu)(gu)东。小(xiao)纳光(guang)为(wei)中科(ke)飞测(ce)(ce)(ce)员(yuan)工持股(gu)(gu)平台。
中(zhong)科飞(fei)测的国有(you)股(gu)东包括中(zhong)科院微(wei)电(dian)子所和(he)深创投，其中(zhong)中(zhong)科院微(wei)电(dian)子所是其第八大(da)股(gu)东，持股(gu)4.84%；华为旗下(xia)投资公司哈(ha)勃投资是其第十(shi)二大(da)股(gu)东，持股(gu)3.30%。
CHEN LU（陈鲁(lu)(lu)）、哈承姝夫妇直(zhi)接(jie)和间接(jie)合计持股30.54%股份，为(wei)(wei)中科飞测实际控(kong)制人。同(tong)时CHEN LU（陈鲁(lu)(lu)）、哈承姝为(wei)(wei)中科飞测董事会或管理层核(he)心成员。中科飞测董事陈克复是(shi)与(yu)CHEN LU（陈鲁(lu)(lu)）是(shi)父子关系。
CHEN LU（陈鲁）出生(sheng)于1977年(nian)(nian)，美国国籍，本科(ke)毕业于中(zhong)国科(ke)学(xue)技术大学(xue)少(shao)年(nian)(nian)班(ban)物(wu)理学(xue)专(zhuan)业，博(bo)士(shi)毕业于美国布朗大学(xue)物(wu)理学(xue)专(zhuan)业，在2010年(nian)(nian)3月至2016年(nian)(nian)8月期间(jian)曾任中(zhong)科(ke)院微电子所研究员、博(bo)士(shi)生(sheng)导师，现(xian)为中(zhong)科(ke)飞测(ce)董事(shi)长(zhang)。
哈承姝也出生于(yu)(yu)1977年，中(zhong)国国籍，拥有香港永久居(ju)留(liu)权，硕(shuo)士毕(bi)业于(yu)(yu)耶(ye)鲁大(da)学(xue)国际和发展(zhan)经(jing)济(ji)学(xue)专业，博士毕(bi)业于(yu)(yu)美国华盛(sheng)顿大(da)学(xue)职业法律(lv)专业，现为中(zhong)科飞测(ce)董(dong)事兼总(zong)经(jing)理。
目前中科(ke)飞测有3名核心技术人员，分别(bie)是董事长CHEN LU（陈鲁）、首席科(ke)学家(jia)黄有为(wei)、首席科(ke)学家(jia)杨乐。2012年(nian)至2016年(nian)期间(jian)，三人均曾(ceng)在(zai)中科(ke)院微电子(zi)所任(ren)职。
该(gai)公司现(xian)任董(dong)事、监事、高级管理人员及(ji)核心技术人员最近(jin)一年(nian)从(cong)中科飞(fei)测(ce)及(ji)关联(lian)企业领取薪酬的情况如(ru)下(xia)：
结语：检测与量测设备国产化率有望加速提升
当前主流半导体(ti)制程正从(cong)28nm、14nm向10nm、7nm发展，部分先进芯片制造商(shang)已实现5nm量(liang)产(chan)(chan)并(bing)开始3nm的研(yan)发，三维FinFET晶体(ti)管、3D NAND等新技(ji)术逐(zhu)渐(jian)成业内主流技(ji)术。随着(zhe)工艺(yi)不断进步(bu)(bu)，产(chan)(chan)品制程步(bu)(bu)骤越(yue)来(lai)越(yue)多，微观结构逐(zhu)渐(jian)复杂(za)，生产(chan)(chan)成本(ben)呈指数级(ji)提升(sheng)。
为了获(huo)取(qu)尽量(liang)高的(de)晶(jing)(jing)圆良品率，必须严格控制晶(jing)(jing)圆之间、同一(yi)晶(jing)(jing)圆上(shang)的(de)工艺一(yi)致性(xing)，因此对(dui)集成电路生产(chan)过程中的(de)质量(liang)控制需求将越来(lai)越大(da)。未(wei)来(lai)检测和(he)量(liang)测设备(bei)需在灵敏(min)度、准确性(xing)、稳(wen)定(ding)性(xing)、吞吐量(liang)等指标上(shang)进一(yi)步提升，保证每道工艺均落在容许(xu)的(de)工艺窗口内(nei)，保证整(zheng)条生产(chan)线平稳(wen)连(lian)续的(de)运行(xing)。
目前国(guo)(guo)内半(ban)导体(ti)市场处于高(gao)速增长期，本土(tu)企业(ye)存在较大(da)的(de)国(guo)(guo)产化(hua)空间(jian)。在我国(guo)(guo)半(ban)导体(ti)量测检测设备国(guo)(guo)产化(hua)率相对(dui)较低的(de)情况下，中(zhong)科飞测作为国(guo)(guo)内半(ban)导体(ti)设备行业(ye)领军(jun)企业(ye)之一，在中(zhong)国(guo)(guo)大(da)陆半(ban)导体(ti)检测和量测设备市场具有相对(dui)竞争优(you)势(shi)。
在国产化(hua)需求紧(jin)迫、研发投(tou)入持续提升的(de)大(da)环境下，近年(nian)来(lai)国内企业(ye)(ye)在检测(ce)与(yu)量测(ce)领(ling)(ling)域突破较多(duo)，受(shou)益于(yu)国内半(ban)导体产业(ye)(ye)链的(de)迅速发展，该领(ling)(ling)域国产化(hua)率(lv)有望(wang)在未来(lai)几年(nian)加速提升。
